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功能材料与器件学报杂志部级期刊

主管单位：中国科学院主办单位：中国材料研究学会;中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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多晶硅材料制备中施主杂质磷的模拟计算研究第105-108页

离子注入改性 SOI 材料总剂量辐射退火效应和机理研究第109-113页

氧化锆氧传感器多孔 Pt/YSZ 电极的制备与表征第114-118页

光学 MEMS 技术及其光通信应用第119-123页

先栅和替代栅方案中的高 k/金属栅堆叠第128-130页

提高 CMP 抛光垫修整性能的方法第131-135页

一种减小塑封对带隙基准电压漂移的方法第142-143页

中国半导体设计与制造携手走强第144-146页

memsstar以领先工艺把握MEMS机遇第147-148页

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