功能材料与器件学报杂志部级期刊

功能材料与器件学报 2009年第01期杂志 文档列表

功能材料与器件学报杂志论文

基于WO3薄膜的双声路声表面波型SO2气体传感器第1-6页

关键词: 声表面波器件；  wo3薄膜；  so2气体；  传感器；  pvp；  

大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作第7-14页

关键词: mems；  梳齿驱动器；  侧向稳定性；  预弯曲梁；  

具有高电流处理能力的多发射极条微波功率GeSi HBT第15-19页

关键词: 锗硅异质结双极晶体管；  热耦合效应；  电流处理能力；  

钨丝微电极阵列的简易制备方法第20-26页

关键词: 微细加工；  钨丝；  微电极阵列；  神经探针；  双面光刻；  

2．4GHz射频薄膜体声波谐振器的研制第27-33页

关键词: 薄膜体声波谐振器；  振荡器；  滤波器；  双工器；  射频微机电系统；  

极化效应对AIN／GaN共振隧穿二极管电流特性的影响第34-38页

关键词: 共振隧穿二极管；  极化；  负微分电阻；  

新型高灵敏度GLV光学电流传感器设计与性能分析第39-45页

关键词: 光学电流传感器；  双端固支梁；  

带温度补偿结构的高灵敏度光读出红外成像阵列器件设计第46-52页

关键词: 光读出红外成像阵列器件；  噪声等效温差；  温度补偿；  

水溶性ZnSe纳米晶的微波制备与表征第53-60页

关键词: 水溶性；  纳米晶；  微波辐射；  光致发光；  

衍射法X射线激光分束光栅平行度测量系统第61-65页

关键词: 双频光栅；  平行度；  衍射法；  

非晶Tb／Fe／Dy和Fe／Tb／Fe／Dy纳米多层膜磁性能及超磁致伸缩性能第66-70页

关键词: 超磁致伸缩；  纳米多层膜；  

高介电栅介质材料HfO2掺杂后的物理电学特性第71-74页

关键词: 高介电栅介质材料；  激光分子束外延；  二氧化铪；  

SnO2纳米空心球的合成及在锂离子电池正极方面的应用第75-78页

关键词: 二氧化锡；  纳米空心球；  锂离子电池；  

纳米晶WO3电致变色特性第79-82页

关键词: 电致变色；  纳米晶；  wo3；  薄膜；  

纳米集成电路中镍基CMP工艺第83-86页

关键词: 机械化学抛光；  镍；  电动势；