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功能材料与器件学报杂志

功能材料与器件学报杂志部级期刊

主管单位:中国科学院  主办单位:中国材料研究学会;中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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功能材料与器件学报 2008年第02期杂志 文档列表

一种MEMS微流量传感器的设计与分析第283-287页
关键词: 流量传感器;  微机械系统;  传感器建模;  
纳米通道中电渗流的分子动力学模拟第288-292页
关键词: 电渗流;  电荷倒置;  剪切流;  zeta电势;  
基于粘附剂键合的圆片级MEMS塑料封装技术第293-297页
关键词: 聚合物;  键合;  圆片级封装;  pmma;  
电容式非制冷红外探测器的设计与热力学特性分析第298-302页
关键词: 非制冷;  红外探测器;  温度响应度;  位移响皿絮;  ansys;  
MEMS器件自动引线键合系统第308-312页
关键词: mems;  引线键合;  显微视觉;  
微型磁通门式磁敏感器(MEMSMag)第313-318页
关键词: 磁通门;  磁传感器;  传感器设计;  
一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作第319-322页
关键词: mems;  平板型能量转换结构;  剥离工艺;  源活度;  
双轴微磁通门传感器第323-326页
关键词: 磁通门;  mems;  电镀;  
电润湿效应控制介质上液滴运动的数值模拟第327-330页
关键词: 电润湿;  level;  set;  表面张力;  
工艺特性对二维微加速度传感器性能的影响第331-335页
关键词: 微加速度传感器;  工艺特性;  
应用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺第336-340页
关键词: 光亮镀镍;  微反射镜;  微电镀;  边缘效应;  
一维扭转式微镜的偏转角特性测试第341-344页
关键词: 微镜;  偏转角;  激光扫描;  测试;  误差分析;  
原子力显微镜微悬臂梁杨氏模量动态测试方法第345-348页
关键词: 原子力显微镜;  微悬臂梁;  杨氏模量;  频率测量;  
一种制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺第349-352页
关键词: 同位素微电池;  su8胶;  剥离工艺;  表面电极;  
紫外光辐射在硅片表面活化键合中的应用第353-357页
关键词: 表面活化;  紫外辐射;  表面粗糙度;  承载率;